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电极类

高功率cmp冠军平台

产品名称:高功率cmp冠军平台

公称直径,mm

允许电流负荷,A

电流密度,A/cm2

200

5500~9000

18~25

225

6500~10000

18~25

250

80000~13000

18~25

300

13000~17400

17~24

350

17400~24000

17~24

400

21000~31000

16~24

450

25000~40000

15~24

500

30000~48000

15~24

550

44000~58000

15~24

600

52000~67000

15~24


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